本栏目只要登录用户才气检察!
用户名:
稀  码:
加入收藏 | 实验室平安
网站首页
实验室概略
构造构造
静态信息
科学研究
人才队伍
学术交流
开放课题
MOI简报
仪器设备
仪器设备预定
预定须知
装备预定
小型同享仪器
预定状况
装备预定 当前位置:首页 > 仪器设备预定 > 装备预定
仪器称号:聚焦离子束纳米制备和加工体系(FIB)
规格:Auriga
用处:可用于电子束高分辨成像(0.8nm@15kv)、离子束高分辨成像(2.5nm@30kv)视察纳米质料的外面描写,可停止纳米级别庞大图案加工,包孕离子束切割、电子束取离子束堆积等,可制备特别的纳米构造。
阐明:

聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的体系是应用电透镜将离子束聚焦成异常小尺寸的显微切割仪器。现在商用体系的离子束为液相金属离子源,金属材质为镓(Ga),由于镓元素具有低熔点、低蒸气压及优越的抗氧化力;典范的离子束显微镜包孕液相金属离子源、电透镜、扫描电极、二次粒子侦测器、5 - 6轴向挪动的试片基座、真空体系、抗振动和磁场的装配、电子掌握面板和计算机等硬设备,外加电场(Suppressor)于液相金属离子源可使液态镓构成微小尖端,再加上负电场(Extractor) 牵引尖端的镓,而导出镓离子束,以电透镜聚焦,经由一连串转变孔径可决意离子束的大小,再经由二次聚焦至试片外面,应用物理碰撞去到达切割之目标。 将扫描电子显微镜取FIB集成为一个体系,可充分发挥各自的长处,加工历程中可应用电子束及时监控样品加工进度可更好的掌握加工精度。

该装备接纳液态Ga离子源,离子束成像分辨率达2.5nm @ 30kV,加工束流1 pA-50 nA可选。正在50nm线宽条件下,加工质料为SiO2,加工深宽比可优于5:1。并装备Pt,C,Au,

仪器寄存所在:浙大玉泉校区教三122室

联系电话:0571-87953365 王先生


 

 

 

 


日 期 预定状况
    2018年11月6日 星期二       www.18438.com
余暇
    2018年11月7日 星期三       www.yl5566.com
余暇
    2018年11月8日 木曜日       
余暇
    2018年11月9日 星期五       
余暇
    2018年11月12日 星期一       永利娱乐城网址
余暇
    2018年11月13日 星期二       
余暇
    2018年11月14日 星期三       
余暇
    2018年11月15日 木曜日       永利电子游戏
余暇
    2018年11月16日 星期五       
余暇
    2018年11月19日 星期一       永利电子游戏
余暇
版权所有 浙江大学当代光学仪器国家重点实验室
技术支持:
仪器设备预定 | 办公体系 | 短信平台 | 论文投稿 | 文件下载| 管理员登录