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超高精度矿物质料磨扔加工机床(五轴)
型号:Nanotech 350FG
聚焦离子束纳米制备和加工体系(FIB)
型号:AURIGA
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份子束内涵装备
型号:JZMBE-450C
近场扫描光学显微镜(NSOM)
型号:Aurora 3 stage rev-A
传递函数仪
型号:DB096008EUR27500
准分子激光微加工体系
型号:promaster
场发射扫描电子显微镜(SEM)
型号:ULTRA 55
三维干涉显微镜(白光干涉仪)
型号:Wyko NT9100
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