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仪器设备 当前位置:首页 > 仪器设备
仪器称号:台阶仪
规格:
用处:可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、质料等范畴实现纳米级别外面描写丈量。台阶高度重现性:最大5A; 垂直分辨率:最大1A(6.55um垂直局限下) ;垂直局限:0-1mm;单次扫描长度局限55mm;探针半径2微米。
阐明:

台阶仪属于打仗式外面描写丈量仪器。其丈量道理是:当触针沿被测外面悄悄滑过期,因为外面有细小的峰谷使触针正在滑行的同时,还沿峰谷作高低活动。触针的活动状况便反应了外面表面的状况。传感器输出的电信号经丈量电桥后,输出取触针偏离均衡位置的位移成反比的调幅旌旗灯号。经放大取相敏整流后,可将位移旌旗灯号从调幅旌旗灯号中解调出来,获得放大了的取触针位移成反比的迟缓转变旌旗灯号。再经乐音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频次取外界滋扰旌旗灯号和波度等身分对粗拙度丈量的影响。

型号规格:DEKTAK-XT

代价:24万元

消费厂商:Bruker

寄存所在:玉泉校区第三教学楼135室

联系人:陈莉英

电话:87953365

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